MFC Readout unit
가스 유량을 한눈에, 채널은 필요한 만큼.
가스 질량유량제어기(MFC)에 전원을 공급하는 1채널 장치입니다. 전면 패널에서 목표 유량을 설정하고 실제 유량을 확인할 수 있습니다. 여러 유닛을 연결하면 가스 라인별로 운전할 수 있습니다.
폴스타인과 (주)큐에스에프가 공동 개발했습니다.
두 유량을 한눈에
목표값과 측정값을 두 줄로 표시해 운전 중 유량 차이를 바로 확인합니다.
현장에서 바로 조작
노브로 목표값을 맞추고 전면 버튼으로 유량 제어를 시작하거나 정지합니다.
필요한 채널만 확장
가스 라인이 늘어나면 제어 유닛을 한 대씩 추가해 RS-485로 연결합니다.
조작부와 연결부
표시창, 조작부, 후면 단자를 실물 사진으로 살펴보세요.
전면 표시부
목표 유량과 실제 유량을 같은 패널에 표시합니다. 하단 표시등으로 운전 상태를 확인할 수 있습니다.
노브와 운전 버튼
중앙에 회전 노브를 두고 양옆에 FLOW ON/OFF 버튼과 ENT 버튼을 배치했습니다.
후면 연결부
MFC, 원격 제어, 시리얼 통신, 전원 입력을 용도별 단자에 연결합니다.
전면 패널과 후면 단자 구성
전면에는 유량을 읽고 조작하는 표시창과 버튼이, 후면에는 MFC와 외부 장비를 연결하는 단자가 있습니다.
전면 표시·조작 패널
두 줄의 유량 표시창 아래에 상태 표시등, 회전 노브와 운전 버튼이 있습니다.
후면 인터페이스 보드
위쪽은 원격 제어·MFC·RS-232 커넥터, 아래쪽은 RS-485와 전원 단자대입니다.
케이스와 단자대
후면 패널 바깥에서 통신선과 전원선을 나사식 단자대에 고정할 수 있습니다.
주요 사양
MFC 한 대에 제어 유닛 한 대를 연결합니다. 장비 연동에 필요한 전원, 유량 신호, 통신 규격을 확인하세요.
| 제어 채널 | 유닛당 MFC 1채널 |
|---|---|
| 본체 입력 전원 | AC 220 V |
| MFC 공급 전원 | DC ±15 V |
| 유량 신호 | 0–5 V 설정값 출력 · 0–5 V 측정값 입력 |
| 통신 인터페이스 | RS-232 · RS-485 |
| 원격 입출력 | RMT COM 단자 · TTL 입력 · 릴레이 접점 출력 |
MFC 연결 방법
MFC Readout unit 한 대와 가스 라인의 MFC 한 대를 전기 케이블로 연결합니다. 가스 배관은 MFC 본체의 입구와 출구에 연결합니다. FLOC 3660 연결도 보기
케이블로 오가는 전원과 신호
| MFC Readout unit | 전압 · 방향 | 가스 라인의 MFC |
|---|---|---|
| 구동 전원 출력 | DC ±15 V | 전원 입력 |
| 목표 유량 출력 | 0–5 V | 설정 신호 입력 |
| 측정 유량 입력 | 0–5 V | 측정 신호 출력 |
유량 신호 예시 0–5 V가 정격 유량의 0–100%에 선형 대응하는 MFC라면, 최대 유량이 100 sccm일 때 2.5 V는 50 sccm에 해당합니다.
전원과 핀 배열 확인
MFC의 전원 극성과 0–5 V 입출력 사양이 일치하고, 필요 전류가 유닛의 공급 범위 안에 있는지 확인하세요. 같은 9핀이라도 배선이 다를 수 있으므로 양쪽 핀 배열과 케이블 결선도 대조하세요.
전원을 끄고 케이블 연결
양쪽 장비의 전원을 끈 뒤, 결선을 확인한 케이블을 후면 ‘MFC’ 단자와 유량제어기의 전기 커넥터에 체결하세요. 바로 아래의 ‘RS232’는 통신용 단자입니다.
운전 전 유량 확인
가스 배관의 흐름 방향과 누설 여부를 제조사 절차에 따라 확인하세요. 전원을 켜고 권장 예열을 마친 뒤, 전면에서 목표 유량을 설정하고 측정 유량이 따라오는지 확인하세요.
아날로그 신호 규격 참고 · HORIBA 제조사 매뉴얼 목록 (SEC(F)-E40/E50)
FLOC 3660 연결도
폴스타인과 (주)큐에스에프가 공동 개발한 MFC Readout unit을 FLOC 3660에 연결하는 배선도입니다. 양쪽 단자명은 연결도의 영문 표기를 따릅니다.
| 용도 | MFC Readout unit | FLOC 3660 |
|---|---|---|
| +15 V 전원 | +15VDC | +15VDC |
| −15 V 전원 | -15VDC | -15VDC |
| 전원 공통 | GND위에서 네 번째 행 | GND |
| 목표 유량 출력 | Set-point Signal | Flow Set Hi |
| 설정 신호 기준 | GND맨 위 행 | Flow Set Lo |
| 측정 유량 입력 | Flow Signal | MFCOUT |
| 측정 신호 기준 | GND위에서 여덟 번째 행 | MFCOUT COM |
이 도면에서 MFC Readout unit 쪽 두 번째 행의 GND와 Chassis GND, FLOC 3660 쪽 open/close와 Value Monitor에는 연결선이 표시되어 있지 않습니다.